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1932年夏，清華大學(xué)工學(xué)院成立，內設機械工程學(xué)系、電機工程學(xué)系和土木工程學(xué)系。機械工程學(xué)系由莊前鼎先生籌建并擔任系主任，以“造就各項機械工程專(zhuān)門(mén)人才，適應國內社會(huì )需要”為宗旨，建系之初設立3個(gè)學(xué)科組：原動(dòng)力工程組、機械制造工程組、飛機及汽車(chē)工程組。

1933年，機械工程館（位于現二校門(mén)東側，現熱能工程系系館）動(dòng)工。

1934年，飛機及汽車(chē)工程組更名為航空工程組，而其中的汽車(chē)工程部分則并入原動(dòng)力工程組。

1935年春，機械工程館落成，其一層為熱工實(shí)驗室。在一院（清華學(xué)堂）東邊建有金、木、鍛、鑄等機械制造工場(chǎng)。當時(shí)的實(shí)驗室設備大多從歐美購置，“比之歐美各大學(xué)機械實(shí)驗設備，實(shí)不相上下，堪稱(chēng)國內*完備之機械實(shí)驗室”。

1935年秋，國內機械工程界擬籌設“中國機械工程學(xué)會(huì )”。在7位發(fā)起人中，有清華機械工程學(xué)系4位教授：劉仙洲、莊前鼎、李輯祥、王士倬，籌備處設在清華大學(xué)。1936年5月該學(xué)會(huì )正式成立，莊前鼎先生曾連任前幾屆副會(huì )長(cháng)，直至1945年后由劉仙洲先生擔任該學(xué)會(huì )的副會(huì )長(cháng)。

1937年抗戰爆發(fā)，清華大學(xué)、北京大學(xué)、南開(kāi)大學(xué)南遷，組成長(cháng)沙臨時(shí)大學(xué)。1938年2月，長(cháng)沙臨大又西遷昆明成為西南聯(lián)大。在西南聯(lián)大期間，機械工程學(xué)系是工學(xué)院中規模*大、學(xué)生人數*多的系。長(cháng)沙臨大和西南聯(lián)大期間的系主任是李輯祥先生。

1945年抗戰勝利后，組成西南聯(lián)大的三校分別北返，次年10月清華大學(xué)復學(xué)。復學(xué)后的機械工程學(xué)系有學(xué)生340人，為全校*大之系。此后兩年內，機械工程學(xué)系除恢復了原有的熱工實(shí)驗室及金工廠(chǎng)外，還新設了金屬學(xué)實(shí)驗室。1950年李輯祥先生病休，莊前鼎先生再任系主任。

1949年北平解放時(shí)，機械工程學(xué)系大部分教師和工作人員都留在學(xué)校，參與了建國初期清華大學(xué)的建設。新清華機械工程學(xué)系的**屆系主任是莊前鼎先生。至1952年夏，每屆機械工程學(xué)系學(xué)生為100人左右，不分專(zhuān)業(yè)，不分小班，前三年級一起上課，第四年級才按原動(dòng)力組、制造組分組選課。1951-

1952年原動(dòng)力組分為動(dòng)力組和汽車(chē)組。

1952年國內高校院系調整，北京大學(xué)和燕京大學(xué)兩校的機械系轉入清華大學(xué)，與清華的機械工程學(xué)系合并組成了機械制造系和動(dòng)力機械系。新成立的機械制造系系主任是來(lái)自北大的李酉山先生，系內設4個(gè)專(zhuān)業(yè)：機械制造工程、金屬切削機床及其工具、鑄造機械及鑄造工程、金屬壓力加工及加工機械，同時(shí)設置兩個(gè)專(zhuān)修科：金工工具，鑄造工程。動(dòng)力機械系系主任是莊前鼎先生，系內設有2個(gè)專(zhuān)業(yè)：熱力動(dòng)力裝置專(zhuān)業(yè)（后改名為熱力發(fā)電設備專(zhuān)業(yè)）和汽車(chē)專(zhuān)業(yè)（后改為汽車(chē)拖拉機專(zhuān)業(yè)），兩系除專(zhuān)業(yè)教學(xué)外，分別承擔全校的一些技術(shù)基礎課，如機械制圖、機械原理與設計、金工實(shí)習、熱工學(xué)等。

1954年，留美知名學(xué)者、清華校友吳仲華教授回到動(dòng)力機械系工作，于1956年建立了燃氣輪機專(zhuān)業(yè)。同年，又由王補宣教授負責新建工業(yè)熱工專(zhuān)業(yè)，1957年底改名為工程熱物理專(zhuān)業(yè)，1960年，該專(zhuān)業(yè)轉到工程力學(xué)系。

1955年，建成鑄造、鍛壓、焊接及金屬熱處理實(shí)驗樓（即焊接館）及鑄造和鍛壓試驗基地。

1956年，機械制造工程專(zhuān)業(yè)與金屬切削機床及其工具專(zhuān)業(yè)合并為機械制造工藝、金屬切削機床及工具專(zhuān)業(yè)。同年“汽車(chē)樓”和汽車(chē)試驗室、發(fā)動(dòng)機試驗室落成。

1958年，機械制造系增設精密儀器制造專(zhuān)業(yè)。

1960年，機械制造系分為“精密儀器及機械制造系”和“冶金系”，分別負責冷熱加工兩類(lèi)專(zhuān)業(yè)的教學(xué)工作，但兩系仍建同一黨總支，精儀系系主任為鄒致圻先生，冶金系系主任為李酉山先生，部分行政工作統一管理。1960年10月，在動(dòng)力機械系原有汽車(chē)拖拉機專(zhuān)業(yè)的基礎上，建立了農業(yè)機械系，系主任是李輯祥先生，但與動(dòng)力機械系合署辦公，同一黨總支、同一行政領(lǐng)導班子，莊先生和李先生輪流主持每周系務(wù)會(huì )議。1962年7月莊先生去世后，李先生兼動(dòng)力、農機兩系系主任。1963年，兩系改名為動(dòng)力與農機系。

1965年，精密儀器及機械制造系系館（9003大樓）落成。精密儀器及機械制造系和冶金系完全分開(kāi)。

1970年初，動(dòng)力農機系和冶金系撤消。汽車(chē)拖拉機專(zhuān)業(yè)改為汽車(chē)專(zhuān)業(yè)，與冶金系各原有專(zhuān)業(yè)、精儀系的機械制造專(zhuān)業(yè)和學(xué)校機械廠(chǎng)合并，成立清華大學(xué)汽車(chē)廠(chǎng)，“以廠(chǎng)帶學(xué)”。原動(dòng)力機械系的熱點(diǎn)專(zhuān)業(yè)改稱(chēng)鍋爐專(zhuān)業(yè)，并與燃氣輪機專(zhuān)業(yè)并入當時(shí)的電機系（改稱(chēng)為電力工程系）；熱工量測及自動(dòng)控制專(zhuān)業(yè)并入自動(dòng)控制系；熱工教研組轉到化學(xué)工程系。

1971年，校汽車(chē)廠(chǎng)停止生產(chǎn)汽車(chē)，恢復校機械廠(chǎng)，而計劃入廠(chǎng)的冶金系各專(zhuān)業(yè)（鑄、鍛、焊、金屬材料）連同汽車(chē)專(zhuān)業(yè)、機械制造專(zhuān)業(yè)合成為機械制造系。同年，精密儀器及機械制造系改稱(chēng)精密儀器系。

1972年，精密儀器專(zhuān)業(yè)改為陀螺導航與自動(dòng)控制專(zhuān)業(yè)。

1977年，汽車(chē)專(zhuān)業(yè)連同1970年被歸屬于電力工程系的熱能電力裝置、燃氣輪機兩專(zhuān)業(yè)回歸動(dòng)力機械系建制，機械制造專(zhuān)業(yè)也回歸精密儀器系。于是，機械制造系只留下了原冶金系的4個(gè)專(zhuān)業(yè)：鑄造、鍛壓、焊接和金屬與熱處理，系名改為現在的機械工程系。

1978年，動(dòng)力機械系更名為熱能工程系，熱電專(zhuān)業(yè)改名為熱能工程專(zhuān)業(yè)，并增設內燃機專(zhuān)業(yè)。

1979年，供熱與通風(fēng)專(zhuān)業(yè)從土木工程系轉入熱能工程系，更名為空氣調節工程專(zhuān)業(yè)。同年，實(shí)驗電廠(chǎng)歸屬熱能工程系，鍋爐教研組改名為熱能工程教研組。

1980年7月，由熱能系的汽車(chē)專(zhuān)業(yè)和內燃機專(zhuān)業(yè)組建汽車(chē)工程系，但仍與熱能工程系合署辦公，共有一個(gè)系黨委和一套行政班子。

1984年，精密儀器系更名為現今的精密儀器與機械學(xué)系。

1989年，精密儀器專(zhuān)業(yè)和光學(xué)儀器專(zhuān)業(yè)合并為精密儀器儀表專(zhuān)業(yè)（1995年改稱(chēng)測控技術(shù)與儀器專(zhuān)業(yè)）。1997年精密儀器與機械學(xué)系增設工業(yè)工程專(zhuān)業(yè)。

1990年，熱能工程系和汽車(chē)工程系的黨政機構正式分開(kāi)。熱能工程系設有熱能工程、熱力渦輪機（現為動(dòng)力機械工程）、空調3個(gè)專(zhuān)業(yè)。汽車(chē)工程系設有汽車(chē)和內燃機2個(gè)專(zhuān)業(yè)。

1993年，熱能工程系的熱力渦輪機專(zhuān)業(yè)改稱(chēng)動(dòng)力機械及工程專(zhuān)業(yè)，汽車(chē)工程系的汽車(chē)、內燃機2專(zhuān)業(yè)合并成汽車(chē)工程專(zhuān)業(yè)。1997年汽車(chē)工程專(zhuān)業(yè)改名為車(chē)輛工程專(zhuān)業(yè)，仍包含發(fā)動(dòng)機方向。

1996年1月，為了適應科學(xué)技術(shù)與教育發(fā)展的需要，進(jìn)一步提高機械工程學(xué)科的教學(xué)、科研水平，學(xué)校決定由機械工程系、精密儀器與機械學(xué)系和汽車(chē)工程系組成機械工程學(xué)院。金國藩院士擔任學(xué)院**任院長(cháng)，副院長(cháng)由各系系主任選任；設立院學(xué)術(shù)委員會(huì )，由各系有名教授組成；設立機械工程學(xué)院辦公室，協(xié)調處理學(xué)院公共事務(wù)。原由各系負責的教學(xué)、科研、行政、人事等工作仍由各系分別進(jìn)行。

1998年10月，為了加強學(xué)科建設，促進(jìn)多學(xué)科交叉、融合，學(xué)校又決定將熱能工程系和工程力學(xué)系并入機械工程學(xué)院。熱能工程系各專(zhuān)業(yè)、工程力學(xué)系的工程熱物理專(zhuān)業(yè)以及汽車(chē)工程系“動(dòng)力機械及工程”學(xué)科的研究生均屬于“動(dòng)力工程與工程熱物理”**學(xué)科。汽車(chē)工程系“車(chē)輛工程”學(xué)科的研究生則同機械工程系、精密儀器與機械學(xué)系各專(zhuān)業(yè)的研究生同屬于“機械工程”**學(xué)科。1999年1月，過(guò)增元院士擔任學(xué)院**任院長(cháng)。

2001年8月，為了在建立現代企業(yè)制度、加強企業(yè)內部科學(xué)管理、落實(shí)國家可持續發(fā)展戰略、技術(shù)**等重大舉措中發(fā)揮作用，學(xué)校決定成立工業(yè)工程系，隸屬于機械工程學(xué)院。

2004年5月，清華大學(xué)航天航空學(xué)院成立，工程力學(xué)系從機械工程學(xué)院劃轉入航天航空學(xué)院。

2008年7月，由機械工程系和精密儀器與機械學(xué)系相關(guān)教師成立航空宇航制造工程二級學(xué)科，掛靠機械工程系。

2008年1月，精密儀器與機械學(xué)系系主任尤政擔任學(xué)院第三任院長(cháng)。同年11月，學(xué)校調整清華大學(xué)基礎工業(yè)訓練中心的隸屬關(guān)系，將該中心由清華產(chǎn)業(yè)系統劃轉至機械工程學(xué)院。至此，清華大學(xué)機械工程學(xué)院形成了目前以機械工程學(xué)科為主，包括機械工程系、精密儀器與機械學(xué)系、熱能工程系、汽車(chē)工程系、工業(yè)工程系以及基礎工業(yè)訓練中心的局面，開(kāi)始了新的發(fā)展時(shí)期。

2012年12月，為更好的推動(dòng)儀器與光學(xué)學(xué)科的發(fā)展，學(xué)校決定成立清華大學(xué)精密儀器系，由原精密儀器與機械學(xué)系儀器與光學(xué)學(xué)科組成。并由原機械工程系和原精密儀器與機械學(xué)系中機械工程學(xué)科教職工組建新的機械工程系，同時(shí)撤銷(xiāo)精密儀器與機械學(xué)建制。